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An In-Situ Spectroscopic Erosion Yield Measurement with Applications to Sputtering and Surface Morphology Alterations
Exemplarinformationen
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Kataloginformation
Katalogdatensatz28820
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Kataloginformation
Feldname
Details
Verfasser
Leung, W.K.
Hirooka, Y.
Conn, R.W.
Körperschaften
California Univ., Los Angeles(
US
). Center for Plasma Physics and Fusion Engineering
TITLE
An In-Situ Spectroscopic Erosion Yield Measurement with Applications to Sputtering and Surface Morphology Alterations
Publ. Year
1988
Seiten
11 S.
Figures
10 Abb.
Report No.
UCLA-PPG-1167
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Exemplarinformationen
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Regalstandort
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
50036972
ZB: R 4947
Zentralbibliothek
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