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Studies of Internal Stresses and Surface Roughness of Sputtered Be Films: Preprint

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Kataloginformation
Feldname	Details
Verfasser	Hsieh, E.J.
	Gillespie, C.H.
	Pierce, E.L.
Körperschaften	California Univ., Livermore(US). Lawrence Livermore Lab.
TITLE	Studies of Internal Stresses and Surface Roughness of Sputtered Be Films
Untertitel	Preprint
Auflage	Rev.1
Publ. Year	1987
Seiten	ohne Pag.
Figures	Abb.
Report No.	UCRL-96638

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50037107	ZB: R 4972		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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