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Characterization of Plasma-Surface Contacts in Low Pressure RF Discharges Using Ion Energy Analysis and Langmuir Probes

Kataloginformation
Feldname Details
Verfasser Flender, Ute
Wiesemann, K.
Körperschaften Bochum Univ. (DE). Sonderforschungsbereich 191 - Physikalische Grundlagen der Niedertemperaturplasmen
Arbeitsgemeinschaft Plasmaphysik (APP)
TITLE Characterization of Plasma-Surface Contacts in Low Pressure RF Discharges Using Ion Energy Analysis and Langmuir Probes
Publ. Year 1994
Seiten 21 S.
Figures 20 Figs.
Report No. SFB-34-A7-94
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Exemplarinformationen
Barcode Regalstandort Bandzählg. Zweigstelle Status
50075140 ZB: R 12959
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