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Theoretical Overview of the Large Area Plasma Processing System (LAPPS)
Exemplarinformationen
Katalogdatensatz75656
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Kataloginformation
Katalogdatensatz75656
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Kataloginformation
Feldname
Details
Verfasser
Manheimer, Wallace M.
Fernsler, Richard
Lampe, Martin
Further Persons
et al.
Körperschaften
Naval Research Lab. (NRL), Washington,D.C.(US)
TITLE
Theoretical Overview of the Large Area Plasma Processing System (LAPPS)
Publ. Year
2000
Seiten
44 S.
Figures
7 Figs.
Report No.
NRL-MR-6707-99-8430
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Exemplarinformationen
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Regalstandort
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
51000465
ZB: R 17081
Zentralbibliothek
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