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Vorheriger Titel
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Use of RF Bias in LAPPS (Large Area Plasma Processing System)
Exemplarinformationen
Katalogdatensatz75657
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Kataloginformation
Katalogdatensatz75657
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Kataloginformation
Feldname
Details
Verfasser
Manheimer, Wallace M.
Lampe, Martin
Fernsler, Richard F.
Körperschaften
Naval Research Lab. (NRL), Washington,D.C.(US)
TITLE
Use of RF Bias in LAPPS (Large Area Plasma Processing System)
Publ. Year
2000
Seiten
18 S.
Figures
3 Figs.
Report No.
NRL-MR-6707-99-8451
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Exemplarinformationen
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Regalstandort
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
51000466
ZB: R 17082
Zentralbibliothek
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Verfügbar
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