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Proceedings of the 5. International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation (PBII-99)

Kataloginformation
Feldname Details
Editor Yamada, I.
Yukimura, K.
Horino, Y.
TITLE Proceedings of the 5. International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation (PBII-99)
Publ. Year 2001
Seiten 296 S.
Reihe Surface and Coatings Technology
Band Vol. 136
Conf. Place Kyoto (JP)
Conf. Date 13.12.1999 - -
16.12.1999
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51001136 ZB: Zeitschrift
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