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Parametric Study of the Flow and Temperature Fields in an Inductively Coupled r.f. Plasma Torch

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Kataloginformation
Feldname	Details
Verfasser	Mostaghimi, J.
	Proulx, P.
	Boulos, M.I.
TITLE	Parametric Study of the Flow and Temperature Fields in an Inductively Coupled r.f. Plasma Torch
Publ. Year	1984
Seiten	S. 199-217
Complete Title	Plasma Chemistry and Plasma Processing
Bde.	Vol. 4, No. 3

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50011771	ZB: R 0319		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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