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An In-Situ Spectroscopic Erosion Yield Measurement with Applications to Sputtering and Surface Morphology Alterations

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Kataloginformation
Feldname	Details
Verfasser	Leung, W.K.
	Hirooka, Y.
	Conn, R.W.
Körperschaften	California Univ., Los Angeles(US). Center for Plasma Physics and Fusion Engineering
TITLE	An In-Situ Spectroscopic Erosion Yield Measurement with Applications to Sputtering and Surface Morphology Alterations
Publ. Year	1988
Seiten	11 S.
Figures	10 Abb.
Report No.	UCLA-PPG-1167

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50036972	ZB: R 4947		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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