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Numerische Berechnung des Spannungsverlaufs und der Bias-Spannungen in Plasmareaktoren mit HF-Entladungen

Exemplarinformationen Katalogdatensatz37503 .
Kataloginformation Katalogdatensatz37503 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Verfasser	Deutsch, R.
	Erz, U.
	Herold, H.
Körperschaften	Stuttgart Univ. (DE). Inst. fuer Plasmaforschung
TITLE	Numerische Berechnung des Spannungsverlaufs und der Bias-Spannungen in Plasmareaktoren mit HF-Entladungen
Publ. Year	1989
Seiten	61 S.
Figures	63 Abb.
Report No.	IPF-89-1

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50047790	ZB: R 6807		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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