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Angular Dependence of Sputtering Coefficient for a Relief Surface of Polycrystalline Copper

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Kataloginformation Katalogdatensatz61831 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Verfasser	Zhukova, Y.N.
	Mashkova, E.S.
	Molchanov, V.A.
Editor	Eisert, J. (Uebers. )
Original Title	Uzlovye zavisimosti koeffitsienta raspyleniya reliefnoi poverkhnosti polikristallicheskoi medi
TITLE	Angular Dependence of Sputtering Coefficient for a Relief Surface of Polycrystalline Copper
Publ. Year	1994
Seiten	S. 107-115
Reihe	Poverkhnost. Fizika, khimiya, mekhanik
Band	No. 8-9
Annotation	Aus dem Russ.

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50074955	ZB: R 12915		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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