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Sputtering Yield Calculations Using an Interatomic Potential with the Shell Effect and a New Local Model
Exemplarinformationen
Katalogdatensatz71880
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Kataloginformation
Katalogdatensatz71880
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Kataloginformation
Feldname
Details
Verfasser
Li, Z.
Kenmotsu, T.
Kawamura, T.
Körperschaften
National Inst. for Fusion Science (NIFS), Nagoya(JP)
TITLE
Sputtering Yield Calculations Using an Interatomic Potential with the Shell Effect and a New Local Model
Publ. Year
1998
Seiten
6 S.
Report No.
NIFS-DATA-48
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Status
50085854
ZB: R 16422
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