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Extended incident-angle dependence formula of sputter yield
Exemplarinformationen
Katalogdatensatz81278
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Kataloginformation
Katalogdatensatz81278
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Kataloginformation
Feldname
Details
Verfasser
Ono, T.
Shibata, K.
Kenmotsu, T.
Further Persons
et al.
Körperschaften
National Inst. for Fusion Science (NIFS), Nagoya(JP)
TITLE
Extended incident-angle dependence formula of sputter yield
Publ. Year
2006
Seiten
12 S.
ISSN
0915-6364
Report No.
NIFS-DATA-97
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Exemplarinformationen
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Bandzählg.
Zweigstelle
Status
51006002
ZB: R 18933
Zentralbibliothek
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Verfügbar
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