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Ion Implantation Equipment and Techniques: Proceedings of the 5.International Conference

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Kataloginformation Katalogdatensatz8743 .

Kataloginformation
Feldname	Details
Editor	Ziegler, J.F.
Editor	Brown, R.L.
TITLE	Ion Implantation Equipment and Techniques
Untertitel	Proceedings of the 5.International Conference
Publ. Year	1985
Seiten	S. 1-451
Reihe	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. B
Band	Vol. B6, No. 1/2
Conf. Title	Internat.Conf.on Ion Implantation Equipment and Techniques, 5.)
Conf. Place	Jeffersonville, VT(US)
Conf. Date	21.7.1984 -
Conf. Date	27.7.1984

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50011051	ZB: Zeitschrift		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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