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High Power Impulse Magnetron Sputtering: Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications

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Kataloginformation
Feldname	Details
Editor	Lundin, Daniel
	Minea, Tiberiu
	Gudmundsson, Jon Tomas
TITLE	High Power Impulse Magnetron Sputtering
Untertitel	Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications
Place of Publ.	Amsterdam
Verleger	Elsevier
Publ. Year	2020
Seiten	384 S.
ISBN	978-0-12-812454-3

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51009674	ZB: Pq 299		Zentralbibliothek	. Verfügbar .

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