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High Power Impulse Magnetron Sputtering: Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications
Exemplarinformationen
Katalogdatensatz88803
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Kataloginformation
Katalogdatensatz88803
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Kataloginformation
Feldname
Details
Editor
Lundin, Daniel
Minea, Tiberiu
Gudmundsson, Jon Tomas
TITLE
High Power Impulse Magnetron Sputtering
Untertitel
Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications
Place of Publ.
Amsterdam
Verleger
Elsevier
Publ. Year
2020
Seiten
384 S.
ISBN
978-0-12-812454-3
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Exemplarinformationen
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Regalstandort
Bandzählg.
Zweigstelle
Status
51009674
ZB: Pq 299
Zentralbibliothek
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