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MAB

High Power Impulse Magnetron Sputtering: Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications
Kategorie	Beschreibung
029m	b
180b	Lundin, Daniel
184b	Minea, Tiberiu
188b	Gudmundsson, Jon Tomas
331	High Power Impulse Magnetron Sputtering
335	Fundamentals, Technologies, Challenges and Applications
410	Amsterdam
412	Elsevier
425	2020
433	384 S.
540a	978-0-12-812454-3

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